奧林巴斯BXC系列顯微鏡組件專為工業自動化檢測與成像系統打造,集高穩定性、模塊化設計與緊湊結構于一體,便于快速集成至各類精密設備中。該平臺以抑制性能波動、保障成像一致性為核心優勢,廣泛適用于晶圓對準、表面缺陷識別及高精度尺寸測量等嚴苛工業場景。

其中,MXPLFLN系列物鏡在高數值孔徑與長工作距離之間實現優異平衡。例如,在20倍與50倍放大倍率下,其工作距離可達3 mm,顯著降低物鏡與樣品發生接觸的風險,提升檢測安全性與效率。同時,該系列采用波前像差控制技術,確保光學性能高度一致,有效減少系統調試時間與復雜度。針對低倍率大視場拼接成像需求,MPLFLN 2.5X/5X明場/暗場物鏡優化了圖像平場性,并支持從可見光至近紅外波段的寬光譜透過,簡化多波段成像系統的光學設計。
BXC平臺提供高度靈活的配置選項,包括五孔與六孔電動物鏡轉換器(如U-D5BDREMC-VA),后者具備1級無塵室兼容性,內置真空除塵機制,滿足高潔凈環境要求。配合MIX滑塊技術(U-MIXR-2),系統可在不增加額外光學元件的前提下實現定向暗場照明:通過16個獨立可控LED精準調節照明角度,突出樣品表面微結構特征,并可無縫切換或疊加明場、偏光及熒光等多種成像模式。
在自動對焦方面,BXC-FSU傳感裝置采用多點激光監測技術,即使面對低對比度樣品(如裸硅片),也能輸出穩定可靠的聚焦信號,且不受放大倍率或環境光照變化影響。配套的緊湊型控制箱(BXC-CBRML/BXC-CBB)采用無風扇設計,支持壁掛或吸頂安裝,可集中管理照明、物鏡切換與MIX功能,并開放標準化軟件接口,便于用戶自主集成至現有控制系統。
憑借標準化、高性能的光學與機械模塊,BXC系列為工業視覺前端提供了可靠、可擴展的一體化解決方案。
儀景通光學科技
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